
PS-PVD 低壓真空等離子噴涂系統
- 概述:鄭州立佳低壓真空等離子噴涂系統基于成熟的真空等離子噴涂技術,結合創新的混合工藝設計,致力于生產高性能、高可靠性的功能性涂層。該系統融合了低壓環境與高能等離子體優勢。
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(1) 低壓噴涂環境:腔室工作壓力范圍寬泛(0.5毫巴至300毫巴),適應多種材料工藝需求。
(2) 高能等離子體輸出:等離子體功率可達150kW,提供穩定且高焓值的射流,確保粒子動能充分釋放。
(3) 智能化運動控制:采用六軸數控機械手與精密夾具系統,支持復雜曲面零件的均勻噴涂,承載重量可達60kg。
(4) 模塊化真空系統:專為低壓高流量氣體設計,配備快速抽空與循環冷卻功能,提升工藝效率。
(1) PS-PVD(等離子噴涂-物理氣相沉積):通過氣化原料粉末,沉積形成柱狀晶結構,適用于熱障涂層(100-300微米),防高溫性能優異。
(2) PS-CVD(等離子噴涂-化學氣相沉積)結合氣態前驅體與等離子體能量,以高沉積速率生成類CVD薄膜(<10微米),兼具高純度與均勻性。
(3) PS-TF(等離子噴涂-薄膜技術)優化射流速度與熱焓參數,實現納米級致密涂層,適用于精密器件表面強化。
(1) 航空航天:渦輪葉片熱障涂層、發動機部件防腐蝕層。
(2) 能源裝備:燃料電池雙極板導電涂層、核反應堆部件防護層。
(3) 醫療植入:人工關節防磨涂層、生物相容性表面改性。
(4) 工業精密件:模具表面強化、半導體設備抗磨損涂層。
(1) 零件裝夾準備:將需涂裝的零件裝入刺夾具。
(2) 真空環境營造:關閉傳送室門,抽真空至初始真空度。
(3) 惰性氣體回填:達初始真空后,充入高純氬氣至工作壓力。
(4) 表面處理:進行零件的 T/A 清洗和涂層沉積。
(5) 冷卻與壓力恢復:零件降溫,回填傳送室至大氣壓力。
(6) 零件卸載完成:壓力正常后,手動或用裝載機卸下零件。
(1) 裝載模式:半自動或全自動工件裝載,適配批量生產與定制化需求。
(2) 過程監控:集成在線光譜儀與熱成像儀,實時監測涂層質量與工藝穩定性。
(3) 擴展功能:可選配預熱腔室、多軸聯動機械手及定制化噴涂槍頭。
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